飞秒激光微加工系统

3D微加工平台, 飞秒激光微加工系统

        TETAscan电磁驱动扫描式2.5D微加工平台(多层加工),
适配的激光器包括:TeTA、REUS、Antuas或FreGat,
可增配3D微动平台和控制器,实现3D精密加工
直接输入CAD文件(dxf, dwg 等)程控自动加工。

ANTUAS输出1μJ@2MHz,适合有机和生物材料的精细微加工;
TEMA、TiF和CrF飞秒激光振荡器适用于双光子微加工。

TETAscan-1030F160/110*性能参数:

加工尺寸 110 x 110 mm
焦距 160 mm
典型偏角 ±0.393 rad
角分辨率 10 μrad
重复性 40 μrad
空间分辨率 2 μm
光点直径 30 μm

飞秒激光器选型指南:

激光器 TETA REUS FREGAT
波长(nm) 1030/515/343/258 800/400/266 1240/620
最高频率 100 kHz 3 kHz 1 kHz
最大能量 >300 μJ@1030 nm
>60 μJ@258 nm
>2 mJ
@800 nm
>1 mJ
@1240 nm
脉冲时间 <300 fs <40 fs <120 fs

*所有参数都是在1030 nm下测试。

飞秒微加工切割GeAl2O3晶圆

飞秒微加工切销工业钻石

飞秒微加工切割的宝石边缘

飞秒微加工切割的宝石边缘

飞秒微加工切销工业钻石

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